半導體烘箱的維護工作

乾潮制造

半導體烘箱的維護工作
一、潔凈至上：防塵與清潔  
無塵室級清潔  
每日用防靜電無塵布擦拭箱體外表面，禁用纖維脫落材質  
內腔清潔需在停機狀態下進行，使用半導體專用清潔劑（如IPA）  
每月深度清潔風道濾網，更換周期不超過3個月  
防污染隔離  
加載物料時啟用層流罩，避免外部顆粒侵入  
箱門密封條每月涂覆硅脂，確保密閉性（壓縮量≤15%）  
二、半導體烘箱溫度精控：校準與驗證  
三級校準體系  
每日開機自檢：核對儀表顯示與實際傳感器偏差  
每周多點校準：使用RTD探頭檢測腔體上中下三層溫差（≤±1.5℃）  
年度計量溯源：送第三方實驗室校準溫控模塊  
熱分布驗證  
每季度進行空載熱分布測試，繪制三維溫度場圖  
滿載驗證時加入模擬晶圓負載，確保邊緣與中心溫差＜3℃  
三、安全護航：風險防控  
雙重過熱保護  
主控溫控器+機械式超溫保護器串聯配置  
加熱元件表面溫度監測，超過設定值80%立即切斷電源  
靜電防護  
箱體接地電阻＜4Ω，接地線采用24K鍍金端子  
物料架使用抗靜電PVC材質，表面電阻10^6-10^9Ω

棉花娃娃

同意樓主的看法，這個解決方案很實用。

魔幻劍客

謝謝樓主毫無保留的分享，讓我們在工作中多了參考依據～

記號印記

說得很在理，我會借鑒你的觀點。