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光柵尺的精度可以達到非常高的水平,具體數值取決于光柵尺的設計、類型和應用需求。以下是光柵尺精度的一些常見指標: 例如,奧普光電的封閉型絕對式光柵尺的精度可以達到±1微米每米,而分辨率最高為2.5納米。另一些企業生產的光柵尺精度可達到±0.5微米以內,甚至接近±0.1微米的精度水平。 在某些特定應用中,如半導體制造、精密加工和航空航天領域,需要極高精度的測量,這時會使用特殊型號的光柵尺,其精度和分辨率將遠超常規標準。 需要注意的是,精度和分辨率是兩個不同的概念。分辨率關注的是最小可檢測的變化量,而精度則是測量值與真值的偏差程度。在選擇光柵尺時,應該根據實際應用場景和精度要求來確定所需的具體規格。
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