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標題: 半導體烘箱的維護工作 [打印本頁]

作者: 乾潮制造    時間: 2025-5-28 17:23
標題: 半導體烘箱的維護工作
半導體烘箱的維護工作
一、潔凈至上:防塵與清潔  
無塵室級清潔  
每日用防靜電無塵布擦拭箱體外表面,禁用纖維脫落材質  
內腔清潔需在停機狀態下進行,使用半導體專用清潔劑(如IPA)  
每月深度清潔風道濾網,更換周期不超過3個月  
防污染隔離  
加載物料時啟用層流罩,避免外部顆粒侵入  
箱門密封條每月涂覆硅脂,確保密閉性(壓縮量≤15%)  
二、半導體烘箱溫度精控:校準與驗證  
三級校準體系  
每日開機自檢:核對儀表顯示與實際傳感器偏差  
每周多點校準:使用RTD探頭檢測腔體上中下三層溫差(≤±1.5℃)  
年度計量溯源:送第三方實驗室校準溫控模塊  
熱分布驗證  
每季度進行空載熱分布測試,繪制三維溫度場圖  
滿載驗證時加入模擬晶圓負載,確保邊緣與中心溫差<3℃  
三、安全護航:風險防控  
雙重過熱保護  
主控溫控器+機械式超溫保護器串聯配置  
加熱元件表面溫度監測,超過設定值80%立即切斷電源  
靜電防護  
箱體接地電阻<4Ω,接地線采用24K鍍金端子  
物料架使用抗靜電PVC材質,表面電阻10^6-10^9Ω
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作者: 棉花娃娃    時間: 2025-11-28 03:08
同意樓主的看法,這個解決方案很實用。
作者: 魔幻劍客    時間: 2025-12-1 08:00
謝謝樓主毫無保留的分享,讓我們在工作中多了參考依據~
作者: 記號印記    時間: 昨天 18:58
說得很在理,我會借鑒你的觀點。




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