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標(biāo)題: 掃描電子顯微鏡使用步驟 [打印本頁]

作者: 科恒儀器    時(shí)間: 2025-3-13 11:29
標(biāo)題: 掃描電子顯微鏡使用步驟
  使用掃描電子顯微鏡(SEM)的步驟通常包括樣品制備、儀器操作、圖像采集和數(shù)據(jù)分析等環(huán)節(jié)。以下是詳細(xì)的操作流程:

  1.樣品制備

  清潔樣品:去除表面污染物(如油脂、灰塵)。

  干燥樣品:確保樣品不含水分或揮發(fā)性物質(zhì)。

  噴鍍導(dǎo)電層(如金、鉑、碳):適用于非導(dǎo)電樣品,防止電荷積累。

  固定樣品:使用導(dǎo)電膠帶或樣品臺(tái)夾具固定樣品,確保穩(wěn)定。

  2.樣品裝載

  打開樣品室:

  確認(rèn)電鏡處于待機(jī)狀態(tài),打開樣品室門。

  放置樣品:

  將樣品固定在樣品臺(tái)上,確保觀察面朝上。

  關(guān)閉樣品室:

  確認(rèn)樣品室門密封良好,啟動(dòng)真空泵抽真空。

  3.啟動(dòng)電鏡

  打開電源:

  啟動(dòng)電鏡主機(jī)和控制系統(tǒng)。

  抽真空:

  等待樣品室達(dá)到高真空狀態(tài)(通常10?3~10??Pa)。

  啟動(dòng)電子槍:

  開啟高壓電源,設(shè)置加速電壓(通常1-30kV,根據(jù)樣品特性選擇)。

  4.調(diào)整儀器參數(shù)

  選擇工作距離(WD):

  調(diào)整樣品臺(tái)高度,優(yōu)化聚焦和分辨率。

  設(shè)置束流和束斑大小:

  根據(jù)樣品特性選擇合適的束流強(qiáng)度和束斑尺寸。

  選擇探測器:

  根據(jù)需求選擇二次電子(SE)探測器或背散射電子(BSE)探測器。

  5.尋找感興趣區(qū)域

  低倍率掃描:

  使用低倍率快速掃描樣品表面,定位感興趣區(qū)域。

  調(diào)整樣品臺(tái)位置:

  通過X/Y/Z軸移動(dòng)樣品臺(tái),找到目標(biāo)區(qū)域。

  6.優(yōu)化圖像

  聚焦:

  使用粗調(diào)和細(xì)調(diào)旋鈕使圖像清晰。

  消像散:

  調(diào)整消像散器,消除圖像畸變。

  調(diào)整對(duì)比度和亮度:

  優(yōu)化圖像質(zhì)量,確保細(xì)節(jié)清晰可見。

  7.采集圖像

  選擇分辨率:

  根據(jù)需求設(shè)置掃描速度和分辨率。

  保存圖像:

  采集圖像并保存為數(shù)字文件(如TIFF、JPEG格式)。

  8.成分分析(如適用)

  啟動(dòng)EDS/WDS探測器:

  對(duì)感興趣區(qū)域進(jìn)行元素分析。

  采集能譜:

  獲取元素種類和含量信息。

  保存數(shù)據(jù):

  保存能譜圖和定量分析結(jié)果。

  9.結(jié)束實(shí)驗(yàn)

  關(guān)閉電子槍:

  降低高壓并關(guān)閉電子槍。

  釋放真空:

  緩慢釋放樣品室真空。

  取出樣品:

  打開樣品室,取出樣品。

  關(guān)閉儀器:

  關(guān)閉電鏡主機(jī)和控制系統(tǒng)。

  注意事項(xiàng)

  樣品清潔:避免污染樣品室和探測器。

  真空保護(hù):確保樣品室密封良好,防止真空泄漏。

  參數(shù)優(yōu)化:根據(jù)樣品特性調(diào)整加速電壓、束流等參數(shù),避免損傷樣品。

  安全操作:遵守實(shí)驗(yàn)室安全規(guī)程,避免高壓和輻射風(fēng)險(xiǎn)。

  通過以上步驟,可以高效地使用SEM進(jìn)行樣品觀察和分析!


作者: 北斗不是孤星    時(shí)間: 2025-4-26 06:45
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